機械工業における電子ビームによる小穴加工の特徴

電子ビーム加工は真空条件下で行われ、非常に高いエネルギー密度で集束された電子ビームを使用して、ワークピースの表面上の非常に小さな領域に非常に高速で影響を与えます。 非常に短時間でそのエネルギーのほとんどが熱エネルギーに変換され、衝撃を受けた部分のワーク材料は数千℃の高温に達し、材料が局部的にガス化して真空に吸引されます。システム。 現時点では、直径 3 μm 未満の穴を加工できます。これは、マイクロエレクトロニクスの分野における多くの部品の穴あけに特に有利です。 微細穴の加工には欠かせない加工方法です。 電子ビーム加工の特徴 ①電子ビーム加工は理論上、直径1μm以下の小さな穴を加工することができます。 同時に、電子ビームを集束させた後の最薄部の長さは断面直径の数十倍となるため、小さな深穴の加工に適しています。 ②電子ビームの強度や位置の制御が容易です。磁場と電場なのでプログラム制御が容易、自動高速小穴加工を実現 ③電子ビーム小穴加工時、力が小さく、応力や変形が小さく、脆性のある箇所にも使用可能材料、延性材料、導体、不導体。 ④ 電子ビームによる小穴加工は高真空中で行われます。中空で行われるため、大気処理における酸化現象がほぼ完全に回避され、特に酸化しやすい材料や極めて高純度が要求される半導体材料の小穴加工に適しています。 ⑤電子ビーム穴あけには数万ボルトの加速電圧と排気高さが必要です。 真空装置はより複雑で高価です。 したがって、製造および応用には一定の制限があります。 現在、主にマイクロエレクトロニクス産業の分野で使用されています。 前： 小穴加工工程における超音波加工の特徴